Описание
Материали XinghuiSiC епитаксиален изолационен филц е високо{0}}ефективно решение за топлоизолация, специално проектирано заSiC епитаксиални пещи за растежв полупроводниковата индустрия.
Изработен от патентован филц, втвърден с къси{0}}влакна, материалът осигурява изключителна изолационна ефективност, химическа стабилност и дългосрочна-трайност дори при екстремни температури на процеса.
Състои се от пълен набор от компоненти за епитаксиална изолация, включително:
- Горен и долен изолационен капак
- Полу-пръстеновидни комплекти от графитен филц
- Покрития по избор:графит, пиролитичен въглен, илиSiCпокритие за повишена защита
опаковане и доставка
вакуумна опаковка
Характеристика на продукта
- Специално проектиран за SiC епитаксиални процеси
- Уникална структура на сглобяване за оптимизирана производителност
- Изключителна устойчивост на термичен удар
- Висока устойчивост на ерозия и корозия в агресивна среда на пещта
- Превъзходни топлоизолационни свойства с топлопроводимост под 0,2 W/(m·K) при 1000 градуса
Предимство
- Отлична термична стабилност и дълъг експлоатационен живот при екстремни условия
- Персонализируеми решения за покритие, за да отговарят на специфични изисквания на процеса
- Подобрена енергийна ефективност поради ултра-ниската топлопроводимост
- Надеждна производителност в взискателни среди за производство на полупроводници
Приложение на продукта

SiC епитаксиална пещ


Популярни тагове: sic епитаксиален изолационен филц, Китай sic епитаксиален изолационен филц производители, доставчици, фабрика






